ʻO ka papahana hoʻihoʻi lua no ka ʻōnaehana ea

ʻO ka hale hana micro-electronic me kahi lumi maʻemaʻe liʻiliʻi liʻiliʻi a me ka radius liʻiliʻi o ka auwai ea hoʻihoʻi i hoʻohana ʻia no ka hoʻohana ʻana i ke ʻano hoʻihoʻi lua o ka ʻōnaehana ea. Hoʻohana pinepine ʻia kēia ʻano hoʻolālā malumi maemaema nā ʻoihana ʻē aʻe e like me ka lāʻau lapaʻau a me ka mālama olakino. No ka mea, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka nui o ka ea e hoʻokō i nā koi o ka haʻahaʻa lumi maʻemaʻe ma mua o ka nui o ka ea e pono ai e hōʻea i ka pae maʻemaʻe, no laila, liʻiliʻi ka ʻokoʻa wela ma waena o ka ea lako a me ka ea hoʻihoʻi. Inā hoʻohana ʻia ka ʻōnaehana hoʻihoʻi mua, ʻo ka ʻokoʻa wela ma waena o ka pae mokuʻāina hoʻolako a me ka wahi hau o ka ea ea he nui, makemake ʻia ka hoʻomehana lua, ka hopena o ka wela anuanu i ke kaʻina hana lapaʻau a ʻoi aku ka ikehu. Inā hoʻohana ʻia ke ea hoʻihoʻi lua, hiki ke hoʻohana ʻia ke ea hoʻihoʻi lua e pani i ka hoʻomehana lua o ka ʻōnaehana hoʻihoʻi mua. ʻOiai ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hoʻoponopono ʻana i ka lākiō o ka ea hoʻihoʻi mua a me ka lua ma mua o ka hoʻoponopono ʻana i ka wela lua, ua ʻike nui ʻia ka papahana hoʻihoʻi lua ma ke ʻano he ea ea e mālama i ka ikehu ma nā hale hana maʻemaʻe micro-electronic liʻiliʻi.

E lawe i kahi papa hana hoʻomaʻemaʻe ISO papa 6 microelectronics ma ke ʻano he laʻana, ka wahi hana maʻemaʻe o 1 000 m2, ke kiʻekiʻe o ke kaupaku o 3 m. ʻO nā ʻāpana hoʻolālā o loko he wela tn= (23±1) ℃, haʻahaʻa pili φn=50%±5%; Ka manao ea lako leo mea 171,000 m3 / h, e pili ana i 57 h-1 ea hoololi manawa, a me ka hou ea ka leo mea 25 500 m3 / h (o ka mea i ke kaʻina exhaust ea leo mea 21 000 m3 / h, a me ke koena he maikai puʻe leakage ea leo). He 258 kW (258 W/m2) ka haawe wela noʻonoʻo i loko o ka hale hana maʻemaʻe, ʻo ka lākiō wela a me ka haʻahaʻa o ka ea he ε=35 000 kJ/kg, a ʻo ka ʻokoʻa wela o ka ea hoʻi o ka lumi he 4.5 ℃. I kēia manawa, ka nui o ka ea hoʻihoʻi mua o
ʻO kēia ke ʻano o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ea i kēia manawa i ka lumi maʻemaʻe ʻoihana microelectronics, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia kēia ʻano ʻōnaehana i ʻekolu ʻano: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU + DC (Dry Coil) + FFU. Loaʻa i kēlā me kēia me kona mau pono a me nā wahi kūpono, ʻo ka hopena hoʻōla ikaika e hilinaʻi nui ʻia i ka hana o ka kānana a me ka fan a me nā mea hana ʻē aʻe.

1) Pūnaehana AHU+FFU.

Hoʻohana ʻia kēia ʻano ʻōnaehana ʻōnaehana i ka ʻoihana microelectronics e like me "ke ala o ka hoʻokaʻawale ʻana i ka ea a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana". ʻElua paha kūlana: ʻo ka ʻōnaehana ea e pili ana i ka ea hou, a ʻo ka ea hou i mālama ʻia e halihali i ka wela a me ka haʻahaʻa haʻahaʻa o ka lumi maʻemaʻe a hana ma ke ʻano he ea pākuʻi e kaulike i ka ea exhaust a me ke kaomi maikaʻi leakage o ka lumi maʻemaʻe, ua kapa ʻia kēia ʻōnaehana ʻo MAU + FFU ʻōnaehana; ʻO ka mea ʻē aʻe, ʻaʻole lawa ka nui o ka ea hou no ka hoʻokō ʻana i ke anuanu a me ka wela o ka lumi maʻemaʻe, a i ʻole no ka hoʻomaʻamaʻa ʻana o ka ea hou mai ka mokuʻāina o waho a hiki i ka ʻokoʻa o ka enthalpy kikoʻī o ka mīkini i makemake ʻia he nui loa, a ua hoʻihoʻi ʻia kahi ʻāpana o ka ea i loko (e like me ka ea hoʻihoʻi) i ka ʻāpana mālama ea, i hui pū ʻia me ka ea hou no ka mālama ʻana i ka wela a me ka haʻahaʻa. Hoʻohui ʻia me ke ea hoʻihoʻi lumi maʻemaʻe i koe (e like me ke ea hoʻihoʻi lua), komo ia i ka ʻāpana FFU a laila hoʻouna i loko o ka lumi maʻemaʻe. Mai 1992 a 1994, ua hui pū ka mea kākau ʻelua o kēia pepa me kahi hui Singaporean a alakaʻi ʻoi aku ma mua o 10 mau haumāna puka e komo i ka hoʻolālā ʻana o ka US-Hong Kong hui pū ʻana SAE Electronics Factory, nāna i hāpai i ke ʻano hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ea a me ka ʻōnaehana ea. He lumi maʻemaʻe ISO Class 5 o ka papahana ma kahi o 6,000 m2 (1,500 m2 o ia mea i ʻaelike ʻia e ka Japan Atmospheric Agency). Hoʻonohonoho ʻia ka lumi ea ea e like me ka ʻaoʻao o ka lumi maʻemaʻe ma ka paia o waho, a pili wale i ke alahele. ʻO ka ea hou, ka ea hoʻopau a me nā paipu ea hoʻi he pōkole a hoʻonohonoho pono ʻia.

2) MAU+AHU+FFU papahana.

Loaʻa pinepine ʻia kēia hopena i nā mea kanu microelectronics me ka nui o ka mahana a me ka haʻahaʻa e pono ai a me nā ʻokoʻa nui i ka haʻahaʻa wela a me ka haʻahaʻa, a ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka maʻemaʻe. I ke kauwela, hoʻoluʻu ʻia ka ea hou a hoʻohaʻahaʻa ʻia i kahi kikoʻī paʻa. He mea maʻamau ka mālama ʻana i ka ea hou i ke kikowaena o ka laina enthalpy isometric a me ka laina haʻahaʻa pili 95% o ka lumi maʻemaʻe me ka mahana a me ka haʻahaʻa a i ʻole ka lumi maʻemaʻe me ka nui o ka ea hou. Hoʻoholo ʻia ka nui o ka ea o MAU e like me nā pono o kēlā me kēia lumi maʻemaʻe e hoʻopiha ai i ka ea, a hāʻawi ʻia i ka AHU o kēlā me kēia lumi maʻemaʻe me nā paipu e like me ka nui o ka ea hou e pono ai, a ua hui pū ʻia me kekahi ea hoʻihoʻi i loko no ka mālama ʻana i ka wela a me ka haʻahaʻa. Hāʻawi kēia ʻāpana i ka ukana wela a me ka haʻahaʻa a me kahi hapa o ka ukana rumatika hou o ka lumi maʻemaʻe e lawelawe ai. Hoʻouna ʻia ka ea i mālama ʻia e kēlā me kēia AHU i ka plenum ea hoʻolako i kēlā me kēia lumi maʻemaʻe, a ma hope o ka hui ʻana o ke lua me ka ea hoʻihoʻi i loko, hoʻouna ʻia i loko o ka lumi e ka FFU unit.

ʻO ka pōmaikaʻi nui o ka hoʻonā MAU+AHU+FFU, ʻo ia ka mea e hōʻoiaʻiʻo ai i ka maʻemaʻe a me ke kaomi maikaʻi, e hōʻoiaʻiʻo nō hoʻi ia i nā mahana like ʻole a me ka haʻahaʻa pili e pono ai no ka hana ʻana i kēlā me kēia kaʻina lumi maʻemaʻe. Eia naʻe, pinepine ma muli o ka helu o ka AHU hoʻonohonoho, noho i ka lumi wahi nui, ka lumi maemae ea hou, ea hoʻi, ea lako pipelines crisscross, noho i ka nui wahi, ka hoʻolālā i oi pilikia, mālama a me ka hooponopono ana ua oi paʻakikī a paʻakikī, no laila, ʻaʻohe koi kūikawā e like me ka hiki ke pale aku i ka hoʻohana.