ʻO ka papahana hoʻihoʻi lua no ka ʻōnaehana ea

ʻO ka hale hana micro-electronic me kahi lumi maʻemaʻe liʻiliʻi liʻiliʻi a me ka radius liʻiliʻi o ka auwai ea hoʻihoʻi i hoʻohana ʻia no ka hoʻohana ʻana i ke ʻano hoʻihoʻi lua o ka ʻōnaehana ea. Hoʻohana pinepine ʻia kēia ʻano hoʻolālā malumi maemaema nā ʻoihana ʻē aʻe e like me ka lāʻau lapaʻau a me ka mālama olakino. No ka mea, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka nui o ka ea e hoʻokō i nā koi o ka haʻahaʻa lumi maʻemaʻe ma mua o ka nui o ka ea e pono ai e hōʻea i ka pae maʻemaʻe, no laila, liʻiliʻi ka ʻokoʻa wela ma waena o ka ea lako a me ka ea hoʻihoʻi. Inā hoʻohana ʻia ka ʻōnaehana hoʻihoʻi mua, ʻo ka ʻokoʻa wela ma waena o ka wahi ea mokuʻāina a me ka wahi hau o ka ea ea he nui, makemake ʻia ka hoʻomehana lua, ka hopena i ka hoʻopau ʻana i ka wela anuanu i ke kaʻina hana mālama ea a ʻoi aku ka ikehu. . Inā hoʻohana ʻia ke ea hoʻihoʻi lua, hiki ke hoʻohana ʻia ke ea hoʻihoʻi lua e pani i ka hoʻomehana lua o ka ʻōnaehana hoʻihoʻi mua. ʻOiai ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hoʻoponopono ʻana i ka ratio o ka ea hoʻihoʻi mua a me ka lua ma mua o ka hoʻoponopono ʻana i ka wela lua, ua ʻike nui ʻia ka ʻōnaehana hoʻihoʻi lua ma ke ʻano he ana e mālama ai i ka ikehu i loko o nā hale hana hoʻomaʻemaʻe micro-electronic liʻiliʻi. .

E lawe i kahi papa hana hoʻomaʻemaʻe ISO papa 6 microelectronics ma ke ʻano he laʻana, ka wahi hana maʻemaʻe o 1 000 m2, ke kiʻekiʻe o ke kaupaku o 3 m. ʻO nā ʻāpana hoʻolālā o loko he wela tn= (23±1) ℃, haʻahaʻa pili φn=50%±5%; Ka manao ea lako leo mea 171,000 m3 / h, e pili ana i 57 h-1 ea hoololi manawa, a me ka hou ea leo mea 25 500 m3 / h (o ia ka kaʻina exhaust ea leo he 21 000 m3 / h, a me ke koena mea. puʻe maikaʻi leakage ea volume). He 258 kW (258 W/m2) ka haawe wela noʻonoʻo i loko o ka hale hana maʻemaʻe, ʻo ka lākiō wela a me ka haʻahaʻa o ka ea he ε=35 000 kJ/kg, a ʻo ka ʻokoʻa wela o ka ea hoʻi o ka lumi he 4.5 ℃. I kēia manawa, ka nui o ka ea hoʻihoʻi mua o
ʻO kēia ke ʻano o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ea i kēia manawa i ka lumi maʻemaʻe ʻoihana microelectronics, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia kēia ʻano ʻōnaehana i ʻekolu ʻano: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU + DC (Dry Coil) + FFU. Loaʻa i kēlā me kēia me kona mau pono a me nā wahi kūpono, ʻo ka hopena hoʻōla ikaika e hilinaʻi nui ʻia i ka hana o ka kānana a me ka fan a me nā mea hana ʻē aʻe.

1) Pūnaehana AHU+FFU.

Hoʻohana ʻia kēia ʻano ʻōnaehana ʻōnaehana i ka ʻoihana microelectronics e like me "ke ala o ka hoʻokaʻawale ʻana i ka ea a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana". ʻElua paha kūlana: ʻo ka ʻōnaehana ea e pili ana i ka ea hou wale nō, a ʻo ka ea hou i mālama ʻia e halihali i ka haʻahaʻa wela a me ka haʻahaʻa o ka lumi maʻemaʻe a hana ma ke ʻano he ea hoʻohui e kaulike i ka ea hoʻopau a me ka leaka maikaʻi. o ka lumi maʻemaʻe, ua kapa ʻia kēia ʻōnaehana MAU + FFU ʻōnaehana; ʻO ka mea ʻē aʻe, ʻaʻole lawa ka nui o ka ea hou no ka hoʻokō ʻana i ke anuanu a me ka wela o ka lumi maʻemaʻe, a i ʻole no ka mea, ua hana ʻia ka ea hou mai ka mokuʻāina o waho a hiki i ka ʻokoʻa enthalpy kikoʻī o ka mīkini koi. , a he hapa o ka ea o loko (e like me ka ea hoʻi) e hoʻihoʻi ʻia i ka ea hoʻomaʻamaʻa ʻana, hui pū me ka ea hou no ka mālama ʻana i ka wela a me ka haʻahaʻa, a laila hoʻouna ʻia i ka plenum lako ea. Hoʻohui ʻia me ke ea hoʻihoʻi lumi maʻemaʻe i koe (e like me ke ea hoʻihoʻi lua), komo ia i ka ʻāpana FFU a laila hoʻouna i loko o ka lumi maʻemaʻe. Mai ka makahiki 1992 a hiki i ka makahiki 1994, ua hui pū ka mea kākau ʻelua o kēia pepa me kahi hui Singaporean a alakaʻi ʻoi aku ma mua o 10 mau haumāna puka e komo i ka hoʻolālā ʻana o ka US-Hong Kong hui hui SAE Electronics Factory, nāna i hāpai i ke ʻano o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ea. ʻōnaehana ea. He lumi maʻemaʻe ISO Class 5 o ka papahana ma kahi o 6,000 m2 (1,500 m2 o ia mea i ʻaelike ʻia e ka Japan Atmospheric Agency). Hoʻonohonoho ʻia ka lumi ea ea e like me ka ʻaoʻao o ka lumi maʻemaʻe ma ka paia o waho, a pili wale i ke alahele. ʻO ka ea hou, ka ea hoʻopau a me nā paipu ea hoʻi he pōkole a hoʻonohonoho pono ʻia.

2) MAU+AHU+FFU papahana.

Loaʻa pinepine ʻia kēia hopena i nā mea kanu microelectronics me ka nui o ka mahana a me ka haʻahaʻa e pono ai a me nā ʻokoʻa nui i ka haʻahaʻa wela a me ka haʻahaʻa, a ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka maʻemaʻe. I ke kauwela, hoʻoluʻu ʻia ka ea hou a hoʻohaʻahaʻa ʻia i kahi kikoʻī paʻa. He mea maʻamau ka mālama ʻana i ka ea hou i ke kikowaena o ka laina enthalpy isometric a me ka laina haʻahaʻa pili 95% o ka lumi maʻemaʻe me ka mahana a me ka haʻahaʻa a i ʻole ka lumi maʻemaʻe me ka nui o ka ea hou. Hoʻoholo ʻia ka nui o ka ea o MAU e like me nā pono o kēlā me kēia lumi maʻemaʻe e hoʻopiha ai i ka ea, a hāʻawi ʻia i ka AHU o kēlā me kēia lumi maʻemaʻe me nā paipu e like me ka nui o ka ea hou e koi ʻia, a hui pū ʻia me kekahi ea hoʻihoʻi i loko no ka wela. a me ka hoʻomaʻamaʻa haʻahaʻa. Hāʻawi kēia ʻāpana i ka ukana wela a me ka haʻahaʻa a me kahi hapa o ka ukana rumatika hou o ka lumi maʻemaʻe e lawelawe ai. Hoʻouna ʻia ka ea i mālama ʻia e kēlā me kēia AHU i ka plenum ea hoʻolako i kēlā me kēia lumi maʻemaʻe, a ma hope o ka hui ʻana o ke lua me ka ea hoʻihoʻi i loko, hoʻouna ʻia i loko o ka lumi e ka FFU unit.

ʻO ka pōmaikaʻi nui o ka hoʻonā MAU+AHU+FFU, ʻo ia ka mea e hōʻoiaʻiʻo ai i ka maʻemaʻe a me ke kaomi maikaʻi, e hōʻoiaʻiʻo nō hoʻi ia i nā mahana like ʻole a me ka haʻahaʻa pili e pono ai no ka hana ʻana i kēlā me kēia kaʻina lumi maʻemaʻe. Eia nō naʻe, pinepine ma muli o ka nui o ka AHU i hoʻonohonoho ʻia, noho nui ka lumi, ʻo ka lumi maʻemaʻe ea hou, hoʻihoʻi ea, ea lako pipelines crisscross, noho i kahi ākea nui, ʻoi aku ka pilikia o ka hoʻolālā, ʻoi aku ka paʻakikī o ka mālama ʻana a me ka hoʻokele. a paʻakikī, no laila, ʻaʻohe koi kūikawā e like me ka hiki ke pale i ka hoʻohana.